【功能简介】

白光干涉仪主要用于表征微纳结构的表面及三维形貌，包括材料、结构表面的粗糙度、三维形貌、轮廓测量。

【参数配置】

型号：：Bruker X500

1.测量范围：0.1 nm至10 mm

2.垂直分辨率：<0.01 nm

3.RMS重现性：0.01 nm

4.倾斜调制范围：扫描头±5°

5.台阶测试精度：0.75%

6.样品台：150 mm*150 mm(XY轴);100 mm(Z轴)

7.反射率范围：0.05%至100%

【存放地点】

微纳加工与测试中心  伯苓楼C104

联系人：郑老师 18526548067