【功能简介】
台阶仪的探针以十分微小的力轻轻划过样品表面，样品表面微米甚至纳米级别的高低起伏通过与测针连接的传感器得到千百万倍的放大，然后被转换成电子信号，输入到电脑软件中，最终以数字和图形的数据形式展现出来。主要用于测试材料的薄膜厚度、元器件结构的台阶高度与深度以及材料表面的形貌，被广泛应用在材料科学及检测研究领域。同时，还能通过仪器控制软件表征材料表面应力、粗糙度、波纹度等信息，通过形貌可以表征分析材料表面的信息。
【参数配置】
型号：Dektak XT
最大扫描长度≥200mm；
测试所允许的最大样品厚度≥50mm；
测试高度方向的重复性≤0.4nm（1微米的标准台阶）；
垂直方向的扫描范围≥1000um
测试垂直分辨率≤0.1nm (在6.55μm测量范围内)；
自动样品台，XY行程150mm*150mm，自动360度旋转
【存放地点】
微纳加工与测试中心 伯苓楼C104
联系人：郑老师 18526548067
