【功能简介】

 电感耦合等离子体刻蚀机是半导体材料、二维材料、金属材料以及光电材料微纳加工的重要工具。其工作原理是通过高频耦合线圈将反应气体电离为等离子体，并利用下电极偏压将等离子体牵引至材料表面，进行化学和物理刻蚀。被刻蚀的材料转化为气态挥发物，并由泵组移除，从而实现图形化的目的。该系统能够在低真空环境下，按照预先设计的图形掩膜进行纳米尺度的加工，已成为微纳领域不可或缺的加工手段

【参数配置】

型号： Haasrode®Pishow®A (LEUVEN)

1.射频源：13.56 MHz，功率可达1100 W

2.偏置电源:13.56 MHz，功率可达1000W

3.样品直径：最大8英寸，小基片可贴片装载

4.电极冷却范围： -10oC至+80oC

5.反应室本底真空：<0.005 mTorr

6.工艺气路：SF6, CF4, CHF3, O2, Ar, N2

【成果展示】

【存放地点】

微纳加工与测试中心  伯苓楼C107

联系人：郑老师 18526548067