微纳加工与测试中心依托高精度曝光设备(EBL),反应离子束刻蚀机(ICP-RIE)和等离子体气相沉积(PECVD)设备，助力物理科学学院科研团队实现铌酸锂光子芯片光刻、刻蚀、封装、切片的全流程工作。
发布时间：2026-08-26浏览次数：12
微纳加工与测试中心依托高精度曝光设备(EBL),反应离子束刻蚀机(ICP-RIE)和等离子体气相沉积(PECVD)设备，助力物理科学学院科研团队实现铌酸锂光子芯片光刻、刻蚀、封装、切片的全流程工作。
微纳加工与测试中心
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