闪耀光栅的制备

发布时间：2026-08-26浏览次数：10

近期，依托微纳加工与测试中心激光直写、反应离子束(RIBE)、扫描电子显微镜等设备实现中红外波段高效闪耀光栅的制备，闪耀角度25°，实现单端耦合效率大于30%。

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